尺寸：96×96mm。
種類：電源AC100～240V用。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：內(nèi)置SSR輸出。
控制輸出2：內(nèi)置SSR輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻E3S-AT21-L手冊(cè)。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障檢測(cè)功能：?jiǎn)蜗嗷蛉嗉訜崞饔脵z測(cè)功能。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
傳送輸出：傳送輸出（專用端子）E3S-AT21-L
遠(yuǎn)程SP：4～20mA輸入。
通信：RS-485。
通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產(chǎn)品。
支持簡(jiǎn)易運(yùn)算、預(yù)防維護(hù)。
采用可通過紅外線端口從前面進(jìn)行通信的新型液晶，
可視角度、對(duì)比度得以提升E3S-AT21-L手冊(cè)。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機(jī)型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺(tái)機(jī)器支持多種傳感器。
還支持遠(yuǎn)程SP。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進(jìn)行簡(jiǎn)易運(yùn)算功能（AND/OR邏輯和延時(shí)）設(shè)定，
能夠執(zhí)行柔性的接點(diǎn)輸出E3S-AT21-L手冊(cè)。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，可預(yù)測(cè)溫控器內(nèi)部繼電器的故障。
備有位置比例型。晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂歐姆龍E3S-AT21-L指導(dǎo)手冊(cè)。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測(cè)方式：反射型。
檢測(cè)距離：紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式：有晶圓片托架時(shí)ON。
導(dǎo)線長(zhǎng)：2m。端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護(hù)管直徑D：φ1.6mm。
保護(hù)管長(zhǎng)度L：15cm歐姆龍E3S-AT21-L指導(dǎo)手冊(cè)。
導(dǎo)線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對(duì)應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時(shí)的棒狀端子對(duì)應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測(cè)量的溫度、場(chǎng)所、 周圍環(huán)境選擇歐姆龍E3S-AT21-L指導(dǎo)手冊(cè)。
備有種類、形狀、 長(zhǎng)度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。種類：無螺釘夾具端子臺(tái)型，溫度輸入型。
本體：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測(cè)功能：--。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：--。
傳送輸出：--。
通信：--。
48×24mm的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升
提供端子臺(tái)型和無螺釘夾具端子臺(tái)型。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SVE3S-AT21-L。
增加控制制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，
可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器E3S-AT21-L手冊(cè)。
3種顏色顯示切換當(dāng)前值（PV）。
適用支持軟件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段數(shù)字顯示。
提供報(bào)警輸出1點(diǎn)型和2點(diǎn)型。